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特種氣體有哪些？

特種氣體主要包括電子氣體、醫(yī)1療氣體、標準氣體、激光氣體、食品氣體、電光源氣體等，其中，電子氣體廣泛用于集成電路、顯示面板、光伏能源、光纖光纜等電子產(chǎn)業(yè)的加工制造過程，主要包括清洗、蝕刻、光刻、外延、摻雜等，是下游1行業(yè)關鍵性化工基礎材料，被譽為電子產(chǎn)業(yè)的“糧食”和“源”，現(xiàn)有單元特種氣體260余種，可配制成25000多種混合氣體。

特種氣體的一般概念  

臨界溫度和臨界壓力。因為任何氣體在一點溫度和壓力下都可以液化，溫度越高，液化所需要的壓力也越高，但是當溫度超過某一數(shù)值時，特種氣體廠，即使在增加多大的壓力也不能液化，特種氣體生產(chǎn)廠家，這個溫度叫臨界溫度 ，在這一溫度下zui低的壓力就叫做臨界壓力，例如：水的臨界溫度為374.15℃，沈陽特種氣體，臨界壓力為225.65kgf/cm2，工業(yè)特種氣體，氨的臨界溫度為132.4℃，臨界壓力為115.2kgf/cm2。

特種氣體系統(tǒng)的設計與施工

供氣系統(tǒng)的選擇

常規(guī)供氣系統(tǒng)

常規(guī)供氣系統(tǒng)主要應用于4-6英寸 大規(guī)模集成電路廠，50MW以下的太陽能電池生產(chǎn)線，發(fā)光二極管的芯片工序線以及其它用氣量中等規(guī)模的電子行業(yè)。對氣體純度控制的要求不苛刻，系統(tǒng)配備在滿足安全的前提下盡量簡單，節(jié)省投資。

特種氣體采用普通鋼瓶（<50L）供氣。特氣輸送系統(tǒng)采用氣瓶柜。配置全自動PLC控制器，彩色觸摸屏；氣體面板采用氣動閥門和壓力傳感器，可實現(xiàn)自動切換，自動氮氣吹掃，自動真空輔助放空；多重安全防護措施，泄漏偵測，遠程緊急切斷；專用氮氣吹掃起源等等。

       

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