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特種氣體系統(tǒng)的設計與施工

供氣系統(tǒng)的選擇

常規(guī)供氣系統(tǒng)

常規(guī)供氣系統(tǒng)主要應用于4-6英寸 大規(guī)模集成電路廠，50MW以下的太陽能電池生產(chǎn)線，發(fā)光二極管的芯片工序線以及其它用氣量中等規(guī)模的電子行業(yè)。對氣體純度控制的要求不苛刻，系統(tǒng)配備在滿足安全的前提下盡量簡單，節(jié)省投資。

特種氣體采用普通鋼瓶（<50L）供氣。特氣輸送系統(tǒng)采用氣瓶柜。配置全自動PLC控制器，特種氣體種類，彩色觸摸屏；氣體面板采用氣動閥門和壓力傳感器，可實現(xiàn)自動切換，自動氮氣吹掃，呼和浩特特種氣體，自動真空輔助放空；多重安全防護措施，特種氣體價格，泄漏偵測，遠程緊急切斷；專用氮氣吹掃起源等等。

       

在半導體制造業(yè)中，可以把氣體分成大宗氣體和電子氣體，大宗氣體是指集中供應且用量較大的氣體，如N2、H2、O2、Ar、He等。電子氣體主要是半導體制造中刻蝕、清洗、外延生長、離子注入、摻雜、氣相沉積，擴散等過程中使用的各種化學氣體，如高純NF3、SiH4、WF6、HCl、C4F6、Cl2、NH3、CF4、SF6、PH3、AsH3、BCl3、BF3、B2H6、C2F6、C3F8、C4F8、N2O等，又可稱為電子特種氣體。電子工業(yè)是當今推動科技發(fā)展的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)，由于所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高，高純度特種氣體，為有別于其它領域應用的氣體。

特種氣體間 speciality gas room是指在電子生產(chǎn)廠房放置特種氣瓶柜、氣瓶架、尾氣處理裝置、氣瓶集裝格等氣體設備，并通過管道向用氣設備輸送特種氣體的房間。特種氣體是光電子、微電子等領域，特別是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽能電池、半導體發(fā)光器件和半導體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐源材料。它的純度和潔凈度直接影響到光電子。

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