南京特種氣體-特種氣體供應商-安徽譜純氣體：

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電子氣體是超大規(guī)模集成電路、平板顯示器件、化合物半導體器件、太陽能電池等電子工業(yè)生產不可或缺的原材料。在半導體的生產過程中，從芯片生長到后器件的封裝，幾乎每一步、每一個環(huán)節(jié)都離不開電子氣體。電子氣體成本占IC材料總成本的5%~6%。電子氣體的純度對芯片質量有很大的影響。在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱為電子特種氣體，南京特種氣體，它是當今興起的高技術含量、高投人、高附加值的高新技術產業(yè)。

特種氣體的分類

近年來我國微電子、光電子等電子信息產業(yè)高速發(fā)展，特種氣體生產廠家，促使這一塊所需使用氣體的飛速發(fā)展。由于微電子、光電子產業(yè)對氣體的使用要求極高，所以我們特將這個領域所使用的特種氣體叫電子特氣。電子特氣的使用行業(yè)主要有太陽能電池片、半導體發(fā)光二極管（LED）、液晶面板、光纖、IC、半導體分立器件、線路板等行業(yè)。主要包括：

1、硅族氣體：含硅基的硅i烷類。

2、摻雜氣體：含硼、磷、shen等三族及五族原子之氣體。

3、蝕刻清洗氣體：以含鹵化物及鹵碳化合物為主。

4、反應氣體：以碳系及氮系氧化物為主。

5、金屬氣相沉積氣體：含鹵化金屬及有機烷類金屬。

特種氣體系統(tǒng)的設計與施工

管道系統(tǒng)的設計

1.材料的選擇

特氣管路系統(tǒng)普遍采用316L不銹鋼電解拋光（EP）管道，特種氣體價格，閥門一般采用高純調壓閥、隔膜閥、高精密過濾器、（＜0.003微米）、VCR接頭等。接觸氣體的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。對于某些高腐蝕性的氣體如CL2等，采用經(jīng)過特殊處理的耐腐蝕強的EP管 。

2.主管路系統(tǒng)的設計

在確定好氣體房和用氣點以后，主管路系統(tǒng)一般遵循管道線路1短，特種氣體公司，拐彎少，布置緊湊合理，給人簡單美觀的感覺。輸送系統(tǒng)的數(shù)量和管徑的大小一般根據(jù)機臺用氣點的多少和流量大小確定，基本都采用小管徑輸送（1/4-3/4）而且多設計了備用系統(tǒng)。

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