




四氟化碳是一種造成溫室效應(yīng)的氣體。它非常穩(wěn)定,工業(yè)四氟化碳,可以長(zhǎng)時(shí)間停留在大氣層中,是一種非常強(qiáng)大的溫室氣體。因?yàn)樗姆己退姆?硅都是共價(jià)化合物,然而碳氟鍵的鍵能遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于硅氟鍵的鍵能,鍵長(zhǎng)也是前者短得多,所以四氟化碳的熱穩(wěn)定性更好。將其通過(guò)裝有氫1氧化鈉溶液的洗氣瓶除去四氟化1硅,四氟化碳供應(yīng)商,隨后通過(guò)硅膠和五1氧化二磷干燥塔得到終產(chǎn)品。由于化學(xué)穩(wěn)定性極強(qiáng),CF4還可以用于金屬冶煉和塑料行業(yè)等。


四氟化碳的溶氧性很好,因此被科學(xué)家用于超深度潛水實(shí)驗(yàn)代替普通壓縮空氣。目前已在老鼠身上獲得成功,在275米到366米的深度內(nèi),小白鼠仍可安全脫險(xiǎn)。四氟化碳有時(shí)會(huì)用作低溫冷卻劑。它可用于電路板的制造,以及制造絕緣物質(zhì)和半導(dǎo)體。它是用作氣體蝕刻劑及等離子體蝕刻版。對(duì)于硅和二氧化硅體系,長(zhǎng)沙四氟化碳,采用CF4-H2反應(yīng)離子刻蝕時(shí),通過(guò)調(diào)節(jié)兩種氣體的比例,可以獲得45:1的選擇性,這在刻蝕多晶硅柵極上的二氧化硅薄膜時(shí)很有用。


四氟化碳物理性質(zhì) :
熔點(diǎn)-183.6℃,
分子式是CF4,
沸點(diǎn)-128.1℃,
液體密度(-130℃)1.613g/cm3,
液體折光率(-173℃)1.515,
固體轉(zhuǎn)變點(diǎn)72.2K,
臨界溫度-45.67℃,
臨界壓力3.73MPa,
蒸氣壓(-150.7℃)13.33kPa
介電常數(shù)(25℃,0.5MPa)1.0006
臨界密度:7.1dm3/mol
標(biāo)準(zhǔn)摩爾自由能:-929.84 kJ/mol
標(biāo)準(zhǔn)摩爾生成自由能:-887.41 kJ/mol
危險(xiǎn)性類別:第2.2類不燃?xì)怏w

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