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      長(zhǎng)沙四氟化碳-安徽譜純(在線咨詢)-四氟化碳廠商

      安徽譜純氣體科技有限公司
      • 經(jīng)營(yíng)模式:生產(chǎn)加工
      • 地址:合肥市經(jīng)開區(qū)翡翠路天時(shí)廣場(chǎng)二期2204室
      • 主營(yíng):氣體,特種氣體
      業(yè)務(wù)熱線:15755114169
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      • 產(chǎn)品詳情
      • 聯(lián)系方式
        • 產(chǎn)品品牌:安徽譜純
        • 供貨總量:不限
        • 價(jià)格說(shuō)明:議定
        • 包裝說(shuō)明:不限
        • 物流說(shuō)明:貨運(yùn)及物流
        • 交貨說(shuō)明:按訂單
        • 有效期至:長(zhǎng)期有效
        長(zhǎng)沙四氟化碳-安徽譜純(在線咨詢)-四氟化碳廠商:
        合肥激光氣體,合肥特種氣體,安徽準(zhǔn)分子預(yù)混氣

        四氟化碳的溶氧性很好,因此被科學(xué)家用于超深度潛水實(shí)驗(yàn)代替普通壓縮空氣。目前已在老鼠身上獲得成功,在275米到366米的深度內(nèi),小白鼠仍可安全脫險(xiǎn)。四氟化碳有時(shí)會(huì)用作低溫冷卻劑。它可用于電路板的制造,以及制造絕緣物質(zhì)和半導(dǎo)體。它是用作氣體蝕刻劑及等離子體蝕刻版。對(duì)于硅和二氧化硅體系,采用CF4-H2反應(yīng)離子刻蝕時(shí),通過調(diào)節(jié)兩種氣體的比例,可以獲得45:1的選擇性,這在刻蝕多晶硅柵極上的二氧化硅薄膜時(shí)很有用。










        四氟化碳在不同的大氣壓下呈現(xiàn)的狀態(tài)是不同的,就像氧氣在101kPa時(shí)會(huì)呈現(xiàn)出液態(tài)。四氟化碳是無(wú)色、無(wú)臭、不燃的可壓縮性氣體,發(fā)揮性較高.四氟化碳一般認(rèn)為是惰性低毒物質(zhì),在高濃度下是窒息劑,其毒性不及四1氯化碳。產(chǎn)品經(jīng)除塵,堿洗除去HF、CoF2、SiF4、CO2等雜質(zhì)、再經(jīng)脫水可獲得含量約為85%的粗品。將粗品引入低溫精餾釜中進(jìn)行間歇粗餾,通過控制精餾溫度,除去O2、N2、H2,得到高純CF4。




        高純四氟化碳主要用于集成電路、半導(dǎo)體的等離子刻蝕領(lǐng)域,可用來(lái)蝕刻硅、二氧化硅、氮化硅等硅材料,是用量大的等離子蝕刻氣體。此外,高純四氟化碳還可用于印刷電路板清潔、電子元器件清洗、太陽(yáng)能電池生產(chǎn)等領(lǐng)域。四氟化碳用于各種集成電路的等離子刻蝕工藝,也用作激光氣體,用于低溫制冷劑、溶劑、潤(rùn)滑劑、絕緣材料、紅外檢波管的冷卻劑。四氟化碳用作低溫制冷劑及集成電路的等離子干法蝕刻技術(shù)。生成氣體通過液氮冷卻的鎳制捕集器冷凝,然后慢慢地氣化后,隨后通過硅膠干燥塔得到產(chǎn)品。

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