電子工業(yè)是當(dāng)今推動(dòng)科技發(fā)展的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè),由于所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高,為有別于其它領(lǐng)域應(yīng)用的氣體,人們把這類在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱為電子特種氣體。有氣體倉(cāng)庫(kù)貯存。氣瓶倉(cāng)庫(kù)應(yīng)通風(fēng)干燥、清潔, 避免陽(yáng)光直射, 氣瓶庫(kù)應(yīng)清楚明“氣瓶貯存”字樣, 顯示適當(dāng)?shù)奈kU(xiǎn)標(biāo)記(例如、、有毒等) 。 特種氣體(Specialtygases) 氣體工業(yè)名詞,是指那些在特定領(lǐng)域中應(yīng)用的,對(duì)氣體有特殊要求的純氣,高純氣或由高純單質(zhì)氣體配制的二元或多元混合氣。






我國(guó)特種氣體行業(yè)在 2006 年后進(jìn)入快速發(fā)展階段,廣泛應(yīng)用于集成電路、顯示面 板、光伏能源、光纖光纜、新能源汽車(chē)、航空航天、環(huán)保和新興產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域,特種氣體指半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)節(jié)中,比如延伸、離子注進(jìn)、摻和、洗滌、 遮掩膜形成過(guò)程中使用到一些化學(xué)氣體,也就是氣體類別中的電子氣體,特種氣體的主要生產(chǎn)工序包括氣體合成、氣體純化、氣體混配、氣瓶處理、氣體充裝、氣體分析檢測(cè)等步驟,其中氣體的純化、混配等是氣體公司的核心競(jìng)爭(zhēng)力。

特種氣體指半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)節(jié)中,比如延伸、離子注進(jìn)、摻和、洗滌、 遮掩膜形成過(guò)程中使用到一些化學(xué)氣體,也就是氣體類別中的電子氣體,特種氣體種類:電子氣體可以分為電 子特種氣體和電子大宗氣體。電子氣體在電子產(chǎn)品制程工藝中廣泛應(yīng)用于離子注入、刻 蝕、氣相沉積、摻雜等工藝,被稱為集成電路、液晶面板、LED 及光伏等材料的“糧食” 和“源”。特種氣體在集成電路領(lǐng)域的應(yīng)用:特種氣體是半導(dǎo)體材料制造過(guò)程不可缺少的基硅性支撐材料,處于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的 上游,被稱為半導(dǎo)體的“源”,主要應(yīng)用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴(kuò)散等工藝。

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