電子特種氣體種類多樣行業(yè)集中度高,細分領域整合開啟進口替代新征程。2016 年全球半導體行業(yè)用電子特種氣體市場規(guī)模達到 36.8 億美元,同比增長 5.7%;國內方面集成電路用電子特種氣體需求約為 25 億元,預計到 2020 年將突破 68 億元。特種氣體的應用領域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導體、液晶顯示器、光纖生產四大領域,其中主要應用于半導體集成電路的生產制造。在半導體工業(yè)中應用的有110 余種單元特種氣體,其中常用的有20~30 種。CO2原料氣中包含的大量烴、硫類雜質傳統(tǒng)精餾無法去除,本公司經過多年潛心研究和多項實驗,研發(fā)出的多元精餾添加劑打破了雜質共沸而無法除去的技術難題,使用精餾代替粗脫硫、水解、精脫硫、脫烴、二次脫水等多種工段,較傳統(tǒng)工藝一次性投資降低 50%。






氣體產品大致可以分為兩大類別, 即一般工業(yè)氣體和特種氣體。一般工業(yè)氣體是指經過空氣分離設備制造的普通級的氧氣和氮氣、經過焦爐氣分離或電解等方法制造出來的普通純度的其它種類氣體。特種氣體(Specialtygases) 氣體工業(yè)名詞,是指那些在特定領域中應用的,對氣體有特殊要求的純氣,高純氣或由高純單質氣體配制的二元或多元混合氣。CO2原料氣中包含的大量烴、硫類雜質傳統(tǒng)精餾無法去除,本公司經過多年潛心研究和多項實驗,研發(fā)出的多元精餾添加劑打破了雜質共沸而無法除去的技術難題,使用精餾代替粗脫硫、水解、精脫硫、脫烴、二次脫水等多種工段,較傳統(tǒng)工藝一次性投資降低 50%。

特種氣體 specialily gas:用于各種電子產品生產的薄膜氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體及工藝設備所使用的氣體。通常包括可燃性氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體、惰性氣體等。硅片的蝕刻氣體(特種氣體)主要是氟基氣體,包括四氟化碳、四氟化碳/氧氣、六氟化硫、六氟乙1烷/氧氣、三氟化氮等。為了提高氣體穩(wěn)定性和保質期,天然1氣公司已經開發(fā)出各種技術,以1小化任何局部活性位點在鋁氣瓶中催化表面的潛在效力,然后再填充特種氣體。

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