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準(zhǔn)分子激光由Nikolai Basov， V. A. Danilychev 和 Yu. M. Popov等人于1970在莫斯科物理研究所發(fā)明。使用電子束激發(fā)氙氣二聚體，準(zhǔn)分子預(yù)混氣公司，產(chǎn)生的準(zhǔn)分子激光波長為172nm。

1975年包括美國政府的海1軍研究實(shí)驗(yàn)室、諾思羅普研究和技術(shù)中心，Avco Everett研究實(shí)驗(yàn)室，和美國桑迪亞國家實(shí)驗(yàn)室在內(nèi)的多家政府研究機(jī)構(gòu)研究利用電子束激發(fā)惰性氣體鹵化物。

1979年西德Lambda Physik公司生產(chǎn)出第1臺商業(yè)用準(zhǔn)分子激光器。

迄今為止已經(jīng)發(fā)現(xiàn)的能夠產(chǎn)生準(zhǔn)分子激光的氣體有10多種。

準(zhǔn)分子是一種半衰期非常短暫的分子狀態(tài)，由同種原子或者異種原子組合而成。其中一種原子的價電子層必須是全滿的（比如稀有氣體）。如果兩種原子都處于基態(tài)，它們是不能形成化學(xué)鍵的。但如果價電子全滿的那個原子處于激發(fā)態(tài)，它們之間就能夠暫時形成化學(xué)鍵。盡管這種化學(xué)鍵的壽命往往非常短，只在納秒的量級。準(zhǔn)分子可以通過自發(fā)輻射或受激輻射，準(zhǔn)分子預(yù)混氣供應(yīng)，釋放出光子回到基態(tài)，徐州準(zhǔn)分子預(yù)混氣，基態(tài)的分子更加不穩(wěn)定，經(jīng)過幾個皮秒的時間，衰變成兩個未成鍵的原子。

使用準(zhǔn)分子激光技術(shù)所進(jìn)行的工業(yè)加工任務(wù)各不相同，這就促使了準(zhǔn)分子激光氣體在準(zhǔn)分子激光技術(shù)產(chǎn)品具有更廣的輸出特性。本質(zhì)上，專業(yè)準(zhǔn)分子預(yù)混氣公司，所有的應(yīng)用都要求具有高可靠性，激光壽命更長，運(yùn)轉(zhuǎn)成本更低。在三方面主要應(yīng)用的促進(jìn)下，激光器制造商已經(jīng)取得了大量重要的技術(shù)進(jìn)步。新一代的準(zhǔn)分子激光器維護(hù)間隔時間更長，自動調(diào)節(jié)能力更先進(jìn)，所需支的擁有成本也更低。

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