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準分子激光由Nikolai Basov， V. A. Danilychev 和 Yu. M. Popov等人于1970在莫斯科物理研究所發(fā)明。使用電子束激發(fā)氙氣二聚體，產(chǎn)生的準分子激光波長為172nm。

1975年包括美國政府的海1軍研究實驗室、諾思羅普研究和技術(shù)中心，溫州準分子預(yù)混氣，Avco Everett研究實驗室，和美國桑迪亞國家實驗室在內(nèi)的多家政府研究機構(gòu)研究利用電子束激發(fā)惰性氣體鹵化物。

1979年西德Lambda Physik公司生產(chǎn)出第1臺商業(yè)用準分子激光器。

迄今為止已經(jīng)發(fā)現(xiàn)的能夠產(chǎn)生準分子激光的氣體有10多種。

所謂準分子激光，準分子預(yù)混氣公司，是指受激二聚體所產(chǎn)生的激光。之所以產(chǎn)生稱為準分子，是因為它不是穩(wěn)定的分子，是在激光混合氣體受到外來能量的激發(fā)所引起的一系列物理及化學(xué)反應(yīng)中曾經(jīng)形成但轉(zhuǎn)瞬即逝的分子，準分子預(yù)混氣供應(yīng)，其壽命僅為幾十毫微秒。準分激光是一種氣體脈沖激光，所產(chǎn)生的是波長為193nm的準分子激光，它是一種超紫外線光 波，此波長的激光吸收范圍窄，激光的能量幾乎完全被角1膜上皮細胞和基質(zhì)吸收，準分子預(yù)混氣體，超過這個范圍的組織不會吸收到激光，每一個激光脈沖可以切削0.2到 0.25um厚度的生物組織，所以周圍的組織不會損傷。

產(chǎn)品名稱：準分子激光氣體（Excimer Laser Gases)

其他名稱：氟化ya激光氣體（193nm）；氟化ke激光氣體（248nm）；氯化氙激光氣體（308nm）

工業(yè)技術(shù)的升級轉(zhuǎn)型需要平衡日益增長的性能需求與加工速度及制造成本之間的矛盾。準分子激光的誕生，以其高光子能量所稱著，在對突破材料限制需求越來越迫切的時代，準分子激光器再次站在了尖端工業(yè)激光解決方案的前沿。作為當(dāng)今較有效、較可靠的脈沖紫外激光技術(shù)的代表，準分子激光器有效地1推進了諸如半導(dǎo)體、AMOLED平板顯示、薄膜、硅底板加工、有機金屬沉淀、高溫超導(dǎo)、刻蝕、材料研究、汽車制造、生物醫(yī)1療、光纖、鉆石打標設(shè)備及可替代能源等多種成長型工業(yè)中的技術(shù)革新。

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