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準分子是一種半衰期非常短暫的分子狀態(tài)，由同種原子或者異種原子組合而成。其中一種原子的價電子層必須是全滿的（比如稀有氣體）。如果兩種原子都處于基態(tài)，它們是不能形成化學鍵的。但如果價電子全滿的那個原子處于激發(fā)態(tài)，它們之間就能夠暫時形成化學鍵。盡管這種化學鍵的壽命往往非常短，準分子預(yù)混氣供應(yīng)商，只在納秒的量級。準分子可以通過自發(fā)輻射或受激輻射，釋放出光子回到基態(tài)，基態(tài)的分子更加不穩(wěn)定，經(jīng)過幾個皮秒的時間，衰變成兩個未成鍵的原子。

準分子激光由Nikolai Basov， V. A. Danilychev 和 Yu. M. Popov等人于1970在莫斯科物理研究所發(fā)明。使用電子束激發(fā)氙氣二聚體，準分子預(yù)混氣多少錢，產(chǎn)生的準分子激光波長為172nm。

1975年包括美國政府的海1軍研究實驗室、諾思羅普研究和技術(shù)中心，準分子預(yù)混氣公司，Avco Everett研究實驗室，和美國桑迪亞國家實驗室在內(nèi)的多家政府研究機構(gòu)研究利用電子束激發(fā)惰性氣體鹵化物。

1979年西德Lambda Physik公司生產(chǎn)出第1臺商業(yè)用準分子激光器。

迄今為止已經(jīng)發(fā)現(xiàn)的能夠產(chǎn)生準分子激光的氣體有10多種。

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