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準分子激光（英文：Excimer laser）是一種紫外氣態(tài)激光，處于激發(fā)態(tài)的稀有氣體和另一種氣體（稀有氣體或鹵素）結(jié)合的混合氣體形成的分子，向其基態(tài)躍遷時發(fā)射所產(chǎn)生的激光，稱為準分子激光。準分子激光屬于低能量激光，無熱效應，是方向性強、波長純度高、輸出功率大的脈沖激光，光子能量波長范圍為157－353納米，準分子預混氣廠家，壽命為幾十納秒，屬于紫外光。常見的波長有157nm、193 nm、248 nm、308 nm、351-353 nm。

為什么說氦氣是天然1氣體中被忽視的“黃金”

氦（He）在整個宇宙中占23%，含量僅次于氫，但氦氣濃度低，為一種稀有氣體。目前，具有工業(yè)價值的氦（>0.1%）主要提取自天然1氣藏，含量1高可達7.5%。近年來，液化天1然氣（LNG）產(chǎn)業(yè)興起，氦氣可在LNG尾氣中富集，可進一步降低氦氣的工業(yè)標準。

針對氦氣藏形成的研究較為薄弱，準分子預混氣廠，一般認為，在漫長的地地質(zhì)歷史中，富鈾釷的礦物和巖石可生成大量氦氣并部分保存；在劇烈的地球活動中，氦氣會集中釋放并溶于地下水；如其能運移到天1然氣藏中，便可以形成富氦天1然氣藏；氦氣分子半徑小，需要封閉能力更強的蓋層，如膏巖層等。

準分子激光器發(fā)展面臨的主要任務是提高輸出能量(或者，廣東準分子預混氣，在激光核聚變的情況是提高峰值功率)和改進光束質(zhì)量。新近為了達到這些目標而發(fā)展的一個方法是使用X光預電離拉長放電激勵脈沖寬度。對于需要較短脈寬的核聚變，正在設計壓縮脈寬的幾種新技術。對其他應用，則通過在準分子激光介質(zhì)中放大倍頻和三倍頻染料激光達到紫外窄帶寬高能輸出。 歷史 自從1975年發(fā)現(xiàn)稀有氣體鹵化物準分子激光器以來，它已經(jīng)成為在特定紫外波長上產(chǎn)生高功率輻射的主要激光器。

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