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特種氣體的殺菌

安全與環(huán)保

　　1.制定完善的經(jīng)驗(yàn)證可行的滅菌工藝方案以及環(huán)氧乙1烷存放、收發(fā)制度，專人持證上崗，嚴(yán)格按照操作規(guī)程運(yùn)行

　　2. 環(huán)氧乙1烷儲存應(yīng)與滅菌生產(chǎn)隔離開來，應(yīng)設(shè)有防爆墻，儲存室陰涼、通風(fēng)、防曬，長沙特種氣體，有易1燃、易1爆、有毒標(biāo)志，特種氣體價格，并配備消防器材。

　　3.滅菌車間周圍30-50米內(nèi)不得有明火作業(yè)、變電設(shè)備及其他可發(fā)生火花的設(shè)備或操作

特種氣體的分類

近年來我國微電子、光電子等電子信息產(chǎn)業(yè)高速發(fā)展，工業(yè)特種氣體，促使這一塊所需使用氣體的飛速發(fā)展。由于微電子、光電子產(chǎn)業(yè)對氣體的使用要求極高，特種氣體廠商，所以我們特將這個領(lǐng)域所使用的特種氣體叫電子特氣。電子特氣的使用行業(yè)主要有太陽能電池片、半導(dǎo)體發(fā)光二極管（LED）、液晶面板、光纖、IC、半導(dǎo)體分立器件、線路板等高精尖行業(yè)。主要包括：

1、硅族氣體：含硅基的硅i烷類。

2、摻雜氣體：含硼、磷、shen等三族及五族原子之氣體。

3、蝕刻清洗氣體：以含鹵化物及鹵碳化合物為主。

4、反應(yīng)氣體：以碳系及氮系氧化物為主。

5、金屬氣相沉積氣體：含鹵化金屬及有機(jī)烷類金屬。

特種氣體管道的施工

特種氣體管道的施工采用全自動軌道焊接，同時制定和實(shí)施嚴(yán)格的超高純施工和QA/QC保證程序，對施工的質(zhì)量和程序進(jìn)行嚴(yán)格的監(jiān)控和管理。后整個系統(tǒng)還要進(jìn)行氦檢漏、水分、氧分和顆粒度檢測、以及其他要求做的氣相雜質(zhì)的測試。

預(yù)制間的選擇

特種氣體管道的施工對環(huán)境的要求比較高，管道施工采用大批量預(yù)制然后現(xiàn)場 安裝的方法。按照標(biāo)準(zhǔn)，預(yù)制作業(yè)需要在潔凈度達(dá)到百級的凈化間進(jìn)行，作業(yè)人員也按照百級凈化間的管理著裝。因此對于特氣項目，一般都建有一個標(biāo)準(zhǔn)的預(yù)制間。

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