深圳特種氣體-高純氣特種氣體-安徽譜純|性能無憂：

 特種氣體 specialily gas：用于各種電子產品生產的薄膜氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體及工藝設備所使用的氣體。通常包括可燃性氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體、惰性氣體等。在半導體制造過程中涉及的材料眾多，在半導體集成電路的生產過程中，從芯片生長到后器件的封裝，幾乎每一步、每一個環(huán)節(jié)都離不開電子特種氣體，因此電子特種氣體被稱為半導體材料的“糧食”和“源”。對特氣的危害性進行分析,通過本質安全設計,消除安全隱患。根據行業(yè)規(guī)范,對特氣房選址、安全間距、防火分區(qū)、房間通風、電氣防爆等進行評估。管道設計應進行保壓和氦測漏,確保系統密閉性。

 特種氣體屬于工業(yè)氣體的一種。工業(yè)氣體是現代工業(yè)重要的基礎原料，根據不同氣體的生產工藝和用途，可以將工業(yè)氣體分為特種氣體、合成氣體、空分氣體三大類。特種氣體的應用領域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導體、液晶顯示器、光纖生產四大領域,其中主要應用于半導體集成電路的生產制造。在半導體工業(yè)中應用的有110 余種單元特種氣體,其中常用的有20～30 種。電子工業(yè)是當今推動科技發(fā)展的高新技術產業(yè)，由于所用氣體的品種多、質量要求高，為有別于其它領域應用的氣體，人們把這類在電子工業(yè)中用的氣體統稱為電子特種氣體。

特種氣體在太陽能電池中的應用：晶體硅電池片生產中的擴散工藝用 到 POCl3 和 O2，減反射層 PECVD 工藝用到 SiH4、NH3，刻蝕工藝用到 CF4；特種氣體的儲存注意事項：高壓容器內，存有內容物時，無論內容量多少，在該容器儲存場地2m內，嚴禁明火或放置燃、可燃物。場所的環(huán)境溫度≤40℃為佳。特種氣體的儲存注意事項：儲存場地的道路，應占整個場地面積的20%以上。充填容器和空容器需要明確區(qū)分存放。充填容器入庫前需檢漏，長期存放的充填高壓容器需要每月復檢一次，并做記錄。

• 上一條：譜純氣體|各地配送(圖)-氧氣多少錢一瓶-氧氣
• 下一條：特種氣體公司-濟南特種氣體-安徽譜純|歡迎咨詢